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昆山高纯气体的检测方法有哪些

编辑:昆山市明伟工业气体经营部时间:2019-01-04

昆山高纯气体中微量氧的分析,除采用气相色谱法检测外,常常采用在线的专用微氧分析仪,对高纯气体中的微氧杂质进行连续的监测,此种微氧分析仪一般安装在高纯气体制取设备或纯化设备出口,用以监测获得的高纯气体中的微氧含量是否符合规定的要求;另外也常常安装在高纯气体的输送管路的始、末端,用以监测高纯气体输送过程的污染状况,以确保用气设备处的微氧含量符合规定的要求。

现常用的微量氧分析方法。目前在10一9级微氧检测中采用DF系列微氧分析仪,铂系列氧分析仪是目前先进的微氧分析仪,它采用一个非消耗型电化学传感器,类似于库伦计的过程,在电化学池内氧量被降低了,铂系列测氧时对传感器的任何部分都没有化学变化和分解。它不同于可更换的电池型传感器那样使用一个可消耗的阳极oDF-560型微氧分析仪的微氧检测范围是0~2×10_9,可对N2、He、H2、Ar等气体中的微量氧进行在线检测,图6-45是DF型微氧分析仪外形。

以上就是关于昆山高纯气体的检测方法相关介绍。